Les débitmètres massiques thermiques mesurent directement le débit massique du gaz, sans nécessiter de compensation de température ou pression, en exploitant la relation entre l’absorption thermique et le flux. Un élément chauffant et deux capteurs de température mesurent la différence (ΔT) causée par le flux, traduite en débit.
Un contrôleur de masse (MFC) intègre un débitmètre et une vanne proportionnelle régulée par une boucle PID : il ajuste automatiquement le débit pour atteindre la valeur de consigne. Cette solution assure un contrôle en temps réel extrêmement précis et répétable, avec une dynamique rapide et sans oscillation.